SECS/GEM通讯学习笔记

仅为学习SECS/GEM过程中记录的笔记以供后续查阅。secs协议连接协议栈，从协议栈，可以看到，连接方式有两种：1，串口连接，对应的是secs i 协议。串口参数，串口号，波特率，数据位，停止位，校验位。2，网口连接，对应的是HSMS协议。对应的参数是Host IP 和Port。指令中数据类型定义超时时间。

z空

2450人浏览 · 2024-11-05 10:30:04

z空 · 2024-11-05 10:30:04 发布

仅为学习SECS/GEM过程中记录的笔记以供后续查阅。

SECS/GEMI 标准（制造设备通信和控制的通用模型）指的是一组用于半导体行业“设备与设备”之间或“设备与工厂主机系统”之间通信的国际标准协议，由国际半导体协议SEMI发起并维护。SECS基于其他较低级别的协议，如下：
1、SECS-II与SECS-I、HSMS的关系：

协议	定义
SECS-I	定义 RS-232 通信的标准（报文）
HSMS	定义 TCP/IP 通讯的标准（报文）
SECS-II	定义交换消息的标准
secs协议连接协议栈，

在这里插入图片描述
从协议栈，可以看到，连接方式有两种：

1，串口连接，对应的是secs i 协议。串口参数，串口号，波特率，数据位，停止位，校验位。

2，网口连接，对应的是HSMS协议。对应的参数是Host IP 和Port。

SECS/GEMHSMS协议报文分析
在这里插入图片描述
（1）数据长度

占4个字节，每个字节都是存储的16进制的数据。

（2）报文头信息
在这里插入图片描述

指令中数据类型定义
指令中的数据类型

指令描述

主动发送为奇数，
相应回复为偶数。
Stream编号含义
1 设备状态
2 设备控制与诊断
3 原料状态
4 原料控制
5 意外处理
6 数据采集
7 加工程序控制
8 控制程序传输
9 系统错误
10 终端服务
11 主机文件服务
12 晶元定位
13 数据集传输
14 对象服务
15 配方管理
16 加工管理
17 设备控制与诊断II
18 子系统控制与数据
（2）常用指令

Primary	描述	Description	Primary	描述	Description
S1F1	通讯存在确认	Are You There Request	S1F2	在线数据	On-Line Data
S1F3	所选设备状态请求	Selected Equipment Status Request	S1F4	所选设备状态数据	Selected Equipment Status Data
S1F11	状态变量名称列表请求	Status Variable Namelist Request	S1F12	状态变量名称列表	Status Variable Namelist
S1F13	建立通信请求	Establish Communications Request	S1F14	ECR确认	ECR Acknowledge
S1F15	离线控制状态请求	Off-Line Control State Request	S1F16	离线控制状态数据	Off-Line Control State Data
S1F17	在线控制状态请求	On-Line Control State Request	S1F18	在线状态数据	On-Line State Data
S2F13	设备常数请求	Equipment Constant Request	S2F14	设备常数数据	Equipment Constant Data
S2F15	新设备常数发送	New Equipment Constant Send	S2F16	新设备常数确认	New Equipment Constant Acknowledge
S2F17	日期和时间请求	Date & Time Request	S2F18	日期和时间数据	Date & Time Data
S2F23	跟踪初始化发送	Trace Initialise Send	S2F24	跟踪初始化确认	Trace Initialise Acknowledge
S2F25	回环诊断请求	Loop Back Diagnostic Request	S2F26	回环诊断数据	Loop Back Diagnostic Data
S2F29	设备常数名称列表请求	Equipment Constant Namelist Request	S2F30	设备常数名称表数据	Equipment Constant Namelist Data
S2F31	日期和时间设置请求	Date & Time Set Request	S2F32	日期和时间确认	Date & Time Acknowledge
S2F33	定义报表	Define Report		S2F34	定义报表确认
S2F35	链接事件报告	Link Event Report	S2F34	链接事件报告确认	Link Event Report Acknowledge
S2F37	启用/禁用事件报告	Enable / Disable Event Report	S2F38	启用/禁用事件报告确认	Enable / Disable Event Report Acknowledge
S2F39	多块查询	Multi-block Inquire	S2F40	多区拨款	Multi-block Grant
S2F41	主机命令发送	Host Command Send	S2F42	主机命令确认	Host Command Acknowledge
S2F43	重置后台处理流和函数	Reset Spooling Streams and Functions	S2F44	重置假脱机确认	Reset Spooling Acknowledge
S2F45	定义变量限制属性	Define Variable Limit Attributes	S2F46	可变限制属性确认	Variable Limit Attribute Acknowledge
S2F47	可变限制属性请求	Variable Limit Attribute Request	S2F48	变量限制属性发送	Variable Limit Attribute Send
S5F1	报警发送	Alarm Send	S5F2	报警事件可从设备侧选择。	Alarm event could be selected from equipment side.
S5F3	启用/禁用报警发送	Enable / Disable Alarm Send	S5F4	启用/禁用报警发送确认	Enable / Disable Alarm Send Acknowledge
S5F5	列出报警请求	List Alarms Request	S5F6	列出报警数据	List Alarms Data
S5F7	列表启用报警请求	List Enabled Alarms Request	S5F8	列出启用的报警数据	List Enabled Alarms Data
S6F11	事件报告发送	Event report send	S6F12	发生任何事件或选定的事件	Any events happen, or selected event
S6F15	事件报告请求	Event Report Request	S6F16	事件报告数据	Event Report Data
S6F19	个人报告请求	Individual Report Request	S6F20	个别报表数据	Individual Report Data
S6F23	请求假脱机数据	Request Spooled Data	S6F24	请求假脱机数据确认	Request Spooled Data Acknowledge
S7F1	进程程序加载查询	Process Program Load Inquire	S7F2	处理程序加载授权	Process Program Load Grant
S7F3	处理程序发送(下载)	Process Program Send	S7F4	过程程序确认	Process Program Acknowledge
S7F5	处理程序请求（上传）	Process Program Request	S7F6	处理程序数据	Process Program Data
S7F7	处理程序id请求	process program id request	S7F8	处理程序id数据	process program id data
S7F17	删除进程程序发送	Delete Process Program Send	S7F18	删除过程程序确认	Delete Process Program Acknowledge
S7F19	当前EPPD6请求(请求所有几台当前recipe名称)	Current EPPD6 Request	S7F20	当前EPPD数据	Current EPPD Data
S7F25	格式化处理程序请求	Formatted Process Program Request	S7F26	格式化的过程程序数据	Formatted Process Program Data
S10F3	终端显示器，单台	Terminal Display, Single	S10F4	终端显示，单一确认	Terminal Display, Single Acknowledge
S10F5	多块终端显示器	Terminal Display, Multiblock	S10F6	终端显示，多块确认	Terminal Display, Multiblock Acknowledge
S14F1	获取属性请求	Get Attribute Request	S14F2	获取属性数据	Get Attribute Data
S9F1	device错误
S9F3	无法识别的Stream类型
S9F4	无法识别的Function类型
S9F7	指令格式错误

交互异常返回

超时时间

返回	描述
T1	表示在接收数据块时每个字符之间的时间间隔
T2	表示发送 ENQ 之后到接收 EOT 的时间间隔
T3	回复超时 T3 (T3 reply timeout)表示一个实体等待回复消息的最长时间，如果T3 计时器超时则取消这次会话但不断开 TCP/IP 连接，如果这个实体是设备，则向主机发送 SECS-II S9F9 消息。
T4	多个块传输中，各个块间的时间间隔
T5	连接间隔时间 T5 (T5 connect separate timeout)表示两个连接请求之间的时间间隔。过于频繁的向一个未准备好连接的实体发起连接请求，会加重 TCP/IP 的负荷。因此，当一个主动模式实体发起的连接操作终止后（不论是成功结束还是被远端实体拒绝），该实体必须等待 T5 计时器超时后发起下一次连接请求。
T6	控制会话超时 T6 (T6 control transaction timeout)表示一个控制会话所能开启的最长时间，超过该时间就认为这次通信失败。当发送.req 控制消失时 T6计时器开启，若在 T6 超时之前收到相应的.rsp 消息则计时器关闭，否则控制消息的发起者将关闭这次会话，并认为出现一个通信故障
T7	Not Select 状态超时 T7 (T7 NOT SELECT timeout)表示当建立了 TCP/IP 连接之后通信处于 Not Select 状态的最长时间，通信必须在该时间完成 select 操作，否则将会断开 TCP/IP 连接
T8	网络字符超时 T8 (T8 network intercharacter timeout)表示成功接收到单个HSMS 消息的字符之间的最大时间间隔。鉴于 TCP/IP 是面向流的通信协议，因此一个 HSMS 通信消息可能被分为若干个 TCP/IP 消息进行传输，若 T8 计时器超时则认为这次传输失败