KOKUSAI D4EX40194 是日本国际电气为其半导体制造设备配套的控制器模块,主要用于扩散炉、沉积设备等工艺系统中的温度控制。

产品特点

  1. 属于KOKUSAI半导体设备的定制化控制器板卡。

  2. 该系列包含温度控制器、加热器控制热电偶等组件。

  3. 应用于半导体扩散炉、CVD等高温工艺设备。

  4. 负责接收传感器信号并输出控制指令,调节加热器或气路阀门。

  5. 配合设备微处理器系统执行可编程工艺参数。

  6. 支持与上位机或操作终端进行数据通信与状态反馈。

  7. 采用工业级元器件,满足高可靠性要求。

  8. 模块化插卡结构,便于维护与更换。

  9. 在二手市场有供应,具备一定存量。

  10. 兼容KOKUSAI相关工艺设备的备件更换。

产品参数

  1. 产品类型:控制器模块/板卡。

  2. 适用领域:半导体扩散炉、CVD/LPCVD。

  3. 核心功能:温度控制、传感器信号处理。

  4. 通信方式:支持与主控制器及上位系统交互。

  5. 兼容设备:KOKUSAI系列半导体工艺设备。

结尾

KOKUSAI D4EX40194 是半导体设备专用控制器模块,主要用于温度控制,适用于设备维护与备件更换

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