第9课：PLC基础（EAP必懂底层逻辑）

一、本课学习目标

1. 明白PLC是什么，在机台里起什么作用
2. 看懂机台逻辑为什么是“条件满足→才动作”
3. 认识 DI/DO/AI/AO 这四个EAP天天见的信号
4. 建立“机台为什么会自己动、自己停”的基本认知

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二、PLC 是什么？

1. 定义

• 英文全称：Programmable Logic Controller
• 中文：可编程逻辑控制器
• 可以理解为：机台的小脑

2. 作用一句话概括

采集信号 → 判断逻辑 → 控制输出
让机台按照设定好的规则自动运行，而不是乱动作。

3. 机台控制结构（简单流程图）

传感器/按钮 → 输入信号 → PLC → 逻辑判断 → 输出信号 → 执行器（电机/阀门/灯）

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三、PLC 核心工作原理（超通俗版）

PLC 只干三件事：

1. 读输入：门开了吗？有晶圆吗？真空到了吗？
2. 做判断：如果门开 → 禁止机械手动；如果真空OK → 可以进片
3. 给输出：开阀、启动电机、亮灯、报警

就像一个自动规则机器人：
IF 满足某个条件
THEN 做某个动作
ELSE 禁止/报警

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四、EAP 必须认识的 4 种信号（DI/DO/AI/AO）

这是EAP看点位表、查通信、排故障的基础中的基础。

统一格式

• I = Input 输入（机台告诉PLC的状态）
• O = Output 输出（PLC控制机台做动作）
• D = Digital 数字量：只有 0 或 1，开/关、有/无
• A = Analog 模拟量：连续数值，如温度、压力

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1. DI 数字输入

• 全称：Digital Input
• 只有两种状态：ON / OFF，1 / 0
• 机台上常见DI信号：
  • 安全门开/关
  • FOUP 有无
  • 晶圆存在
  • 真空到达
  • 按钮按下
  • 联锁触发

EAP 看到的机台“状态”，绝大多数来自 DI。

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2. DO 数字输出

• 全称：Digital Output
• 控制开关类动作
• 常见DO：
  • 指示灯（红/绿）
  • 电磁阀开关
  • 蜂鸣器
  • 允许进片信号
  • 锁定/解锁

EAP 下发的“指令”，很多最终变成 DO 输出。

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3. AI 模拟输入

• 全称：Analog Input
• 连续变化的值
• 常见AI：
  • 真空度
  • 气体压力
  • 温度
  • 流量
  • 液位

EAP 上传给 FDC 的数据，大量来自 AI。

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4. AO 模拟输出

• 全称：Analog Output
• 控制连续大小
• 机台里相对少，EAP一般不直接碰
  • 调节马达转速
  • 调节加热功率

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五、四类信号对比表

信号名称	英文全称	类型	方向	机台实际例子	EAP用途
数字输入	DI	开关量	机台→PLC	安全门关、晶圆存在、真空OK、联锁	判断机台状态、跑货条件
数字输出	DO	开关量	PLC→机台	指示灯、电磁阀、允许进片、蜂鸣器	下发控制指令、动作控制
模拟输入	AI	连续量	机台→PLC	真空度、温度、压力、气体流量	采集数据、上传FDC
模拟输出	AO	连续量	PLC→机台	调转速、调加热功率、调流量	极少涉及，设备工程师使用

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六、PLC 典型逻辑举例（EAP 现场天天见）

例子1：安全门联锁逻辑

IF 安全门打开 (DI=ON)
THEN 禁止机械手动作 (DO=OFF)
AND 触发联锁 (Interlock = ON)

例子2：真空允许进片

IF 真空到达 (DI=ON)
AND 安全门关好 (DI=ON)
AND 无报警 (DI=OFF)
THEN 允许进片 (DO=ON)

例子3：报警逻辑

IF 真空未到达超过10秒
THEN 触发报警
AND 禁止工艺启动

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七、EAP 为什么要学 PLC？

你不需要会写PLC程序，但必须看得懂逻辑，因为：

1. 机台为什么不动？
   多半是某个 DI 条件不满足（门开、真空不足、联锁触发）

2. 机台为什么报警？
   PLC 逻辑判断异常，强制停机

3. EAP 下发“Start”命令无效
   因为 PLC 内部条件不满足，不执行

4. 看机台手册、I/O 点位表
   全是 DI/DO/AI/AO，不懂就完全看不懂

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八、本课必须记住的 4 句话

1. PLC 是机台的小脑，负责读信号、做判断、给输出。
2. EAP 不用写程序，但必须懂机台动作逻辑。
3. 四个信号：DI 看状态、DO 发命令、AI 读数值、AO 调大小。
4. 机台不动 = 多半是某个 DI 输入条件不满足。

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九、课后小作业

1. 写出 DI / DO / AI / AO 的中文和含义
2. 各举 2 个机台上真实的例子
3. 用自己的话解释：PLC 在机台里干什么