Sentaurus TCAD学习之SDEVICE
对SDEVICE的学习
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Sentaurus TCAD学习之SDEVICE
SDEVICE的BV部分分析
## Tool: Sentaurus Device
## Characteristics: Breakdown Voltage
//击穿电压特性
## Dependency: Should be run after the process simulation of NMOS device
//应该在NMOS器件过程仿真后进行运行
#setdep @node|NMOS@
## Initial settings for NMOS power device simulations
File {
grid = "n@node|NMOS@_msh.tdr"
/*
输入文件,输入前面的网格文件,
网格文件包含器件尺寸和掺杂等重要信息
*/
current = "@plot@"
//用于在Inspect中查看曲线
plot = "@tdrdat@"
//用于使用TecplotSV或者Svisual查看结构
parameter = "@parameter@"
Output= "@log@"
/*
可以双击节点查看运行情况,log表示日志文件
*/
}
## Electrical contacts
//电极定义部分:用来定义器件所有电极电压的初始值
Electrode {
#if "@tool_label@" == "BV"
//如果节点标签为BV执行以下命令
# { Name="drain" Voltage= 0.0 Resist= 1e8 }
//对代码进行注释
{ Name="drain" Voltage= 0.0 resist= 3e9}
/*
Voltage定义了电极电压,电极接触默认为欧姆接触
Resist表示在漏极串联了一个高值电阻
*/
#elif "@tool_label@" == "UIS"
//如果节点标签为UIS执行以下命令
{ Name="drain" Voltage= 0.0 Resist= @<1e5/L_cell>@ }
#else
//如果以上条件都不是
{ Name="drain" Voltage= 0.0 }
#endif
{ Name="source" Voltage= 0.0 resist= 1e-3}
{ Name="gate" Voltage= 0.0 Material= "PolySi" resist= 1e-3 }
}
#if "@tool_label@" == "SC" || "@tool_label@" == "UIS"
//如果节点标签为SC或者UIS,则执行以下命令
//热电极部分定义了器件的热接触
Thermode {
{ name= "gate" temperature=300 SurfaceResistance=0.3e5 }
//这是一个带有0.3*10^5cm^2K/W热阻的热阻边界条件,在热电极栅极处指定
{ name= "source" temperature=300 SurfaceResistance=10.3 }
//这是一个带有300cm^2K/W热阻的热阻边界条件,在热电极源极处指定
{ name= "drain" temperature=300 SurfaceResistance= 10.3 }
//这是一个带有300cm^2K/W热阻的热阻边界条件,在热电极漏极处指定
}
#endif
## Physics models
Physics {
Areafactor=@<1e8/(0+L_cell)>@
//面积因子
Temperature=@Tamb@
//温度
EffectiveIntrinsicDensity ( oldSlotboom NoFermi )
//表示使用禁带变窄模型
}
//物理模型使用的原料是碳化硅
Physics (Material = "SiliconCarbide"){
//Recombination定义了复合模型
Recombination (
SRH(DopingDependence TempDependence)
//通过指定SRH参数激活SRH模型
Auger
//Auger模型在正向导通载流子浓度较高、大注入时起主要作用
#if "@tool_label@" == "BV" || "@tool_label@" == "SC" || "@tool_label@" == "UIS"
//节点标签为BV或SC或UIS时,执行以下命令
Avalanche(OkutoCrowell)
/*
为了在雪崩产生模型中包含对能量带隙的依赖,
将关键字BandgapDependence指定为Avalanche、eAvalanche或hAvalanche
*/
ConstantCarrierGeneration (value = 1e8)
//恒定载波生成模型:最简单的生成模型计算一个恒定的载波生成Gconst
#endif
)
//Mobility定义了迁移率模型
Mobility (
DopingDependence
//迁移率与掺杂浓度的关系
Enormal
//模拟界面散射对载流子迁移率的影响
HighFieldSaturation
//迁移率与高电场的关系
)
# IncompleteIonization
//半导体器件的各向异性特性
Aniso (
eMobilityFactor (Total) = 0.83
hMobilityFactor (Total) = 1.00
//总各向异性迁移率
#if "@tool_label@" == "BV" || "@tool_label@" == "SC" || "@tool_label@" == "UIS"
//如果节点标签为以上名称
Avalanche
//雪崩
#endif
# direction(SimulationSystem) = (1,0,0)
//对格点参数没有依赖性
)
//光学问题
Optics
(
OpticalGeneration
(
SetConstant(Value = 1e12)
//可以在指定区域或材料中设置背景恒定的光学生成
//假设所有半导体区域具有相同的光产生速率
)
)
#if "@tool_label@" == "SC" || "@tool_label@" == "UIS"
Thermodynamic
//晶格温度的热力学模型
TEPower(Analytic)
//解析式TEP模型
#endif
}
## Interface charges at SiliconCarbide-Oxide interface
//碳化硅氧化物界面的界面电荷
#if 1
//MaterialInterface = <material1/material2>:材料界面域
Physics(MaterialInterface= "SiliconCarbide/Oxide") {
Traps (FixedCharge Conc=@FC@)
//FixedCharge:陷阱总是被完全占据
/*
对于固定电荷陷阱,Conc的符号表示固定电荷的符号。对于其他陷阱类型,Conc不一定为负
当为Fixed Charge陷阱指定Single Trap时,固定电荷的符号使用Conc (如果指定)的符号。
若忽略Conc或指定Conc = 0,则固定电荷为正。为获得Single Trap的负定电荷,为Conc指定任意负值。
*/
}
#endif
## Math Set-up
#if "@tool_label@" == "IdVg" || "@tool_label@" == "IdVd" || "@tool_label@" == "BV" || "@tool_label@" == "IsVs"
//如果节点标签为IdVg或IdVd或BV或IsVs时,执行以下命令
Math {
ExtendedPrecision(80)
//使用扩展的精确浮点算法进行仿真
//在Linux操作系统上,硬件上支持80位扩展精度算法,性能没有明显下降
Iterations=50
//求解所需的迭代次数
Notdamped=50 //应用Bank - Rose阻尼前的牛顿迭代次数。
//当迭代次数超过数学部分(默认为1000)中NotDamped指定的值时,Bank - Rose阻尼被激活
eDrForceRefDens= 1
//0cm^-3(r)高场迁移率驱动力阻尼参数,别名RefDens_ eGradQuasiFermi_Zero
hDrForceRefDens= 1
//0cm^-3(r)高场迁移率驱动力阻尼参数,别名RefDens_ hGradQuasiFermi_Zero
Digits= 5
//ANP误差计算中相对误差位数
ErrRef(electron) = 1
//ErrRef用于ANP误差计算的参考误差参数
ErrRef(hole) = 1
Extrapolate
//使用外推法
Transient= BE
//使用Transient命令进行瞬态时间仿真
TensorGridAniso
//只针对应力移动性,Off (g)对各向异性压电迁移率使用张量-网格近似。
RHSmin= 1e-30
//用于松弛收敛的ANP RhsMin,
//1e-5 Minimum of -norm of the RHS in each Newton iteration.
RHSmax= 1e30
//对于瞬态模拟,如果RHS范数超过RhsMax,则认为解发散
//1e15 Maximum of -norm of the RHS in each Newton iteration. Used only during transient simulations.
RHSFactor= 1e30
//1e10 Maximum increase of the -norm of the RHS between Newton iterations.
CDensityMin= 1e-30
//3e-8 (r) Current limit for parallel electricfield computation.
number_of_threads= 4
//以激活光线跟踪的多线程能力
ParallelToInterfaceInBoundaryLayer(FullLayer -ExternalBoundary)
//控制沿界面移动和雪崩模型驱动力的计算
ElementAvalancheMinAngle=0
//元素雪崩最小角度
eMobilityAveraging=ElementEdge
//使用元素-边缘平均电子迁移率
hMobilityAveraging=ElementEdge
//使用单元-边缘平均空穴迁移率
Method= ParDiso
//非对称置换迭代求精
BreakCriteria{Current (Contact="drain" absval=1e-4)}
//可以指定接触电压和接触电流的限值
ExitOnFailure
// 一旦Solve命令失败,则终止仿真
}
//用于采集与输出所需的Sdevice仿真输出绘图结果
Plot {
Potential SpaceCharge
eDensity hDensity
eCurrent hCurrent TotalCurrent/vector CurrentPotential
ElectricField/vector
eQuasiFermi hQuasiFermi
egradQuasiFermi hgradQuasiFermi
SRH Auger
AvalancheGeneration eAvalanche hAvalanche
eMobility hMobility
eMobilityAniso hMobilityAniso
eMobilityAnisoFactor hMobilityAnisoFactor
DielectricConstant DielectricConstantAniso
Doping DonorConcentration DonorPlusConcentration AcceptorConcentration AccepMinusConcentration
NitrogenConcentration NitrogenActiveConcentration
# NitrogenConcentration_split1 NitrogenActiveConcentration_split1 NitrogenPlusConcentration_split1
# NitrogenConcentration_split2 NitrogenActiveConcentration_split2 NitrogenPlusConcentration_split2
AluminumConcentration AluminumActiveConcentration
ConductionBandEnergy ValenceBandEnergy BandGap
# Traps visualization
eTrappedCharge hTrappedCharge
eInterfaceTrappedCharge hInterfaceTrappedCharge
eGapStatesRecombination hGapStatesRecombination
TotalInterfaceTrapConcentration
}
#endif
Solve {
Coupled(Iterations= 10 LineSearchDamping= 1e-4) { Poisson }
//LineSearchDamping:最小允许阻尼系数为线搜索阻尼
# Plot(FilePrefix="n@node@_Poisson")
# Coupled(Iterations= 1000 LineSearchDamping= 0.001 ) { Poisson Hole }
# Coupled(Iterations= 1000 LineSearchDamping= 0.001 ) { Poisson Electron Hole }
Plot(FilePrefix="n@node@_Zero")
NewCurrentPrefix="BV_"
//对当前文件使用前缀
Quasistationary (
InitialStep= 1e-6 Increment= 2.0
MinStep= 1e-12 MaxStep= 0.1
Goal { Name= drain Value=3000 }
){ Coupled { Poisson Electron Hole }
Plot (FilePrefix="n@node@_output_1200V" When( contact=drain voltage=1200 ) NoOverWrite)}
//NoOverWrite通过编号为每个新的保存或绘图文件赋予一个新的名称
# System ("rm n@node@_des.plt")
}
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